Колебания промышленного цикла трихлорсилана
TCS — это сокращение от SiHCl3. Водородный кремний является ключевым химическим сырьем в переднем сегменте цепочки фотоэлектрической промышленности. Материалы поликремния высокой чистоты получают методом химического осаждения для получения поликремния с неупорядоченными гранями кристаллов. Водородный кремний является важным сырьем для производства поликремния и последующей фотоэлектрической промышленности. В то же время побочный кремний в производственном процессе также пользуется большим спросом в области производства кремнезема и оптического волокна. Являясь важным звеном в цепи глубокой переработки кремния, путь развития завода по производству трихлорсилана также следует основной линии колебаний промышленного цикла, прогресса производственных технологий, изменения промышленной структуры и так далее.
Процесс дистилляции трихлорсилана высокой чистоты в паре с перепадом давления, использующий верхний пар колонны высокого давления в качестве источника тепла ребойлера колонны низкого давления, реализовал энергетическую интеграцию и оптимизацию процесса. Программное обеспечение для химического моделирования PRO/Ⅱ8.1 использовалось для моделирования параметров конструкции двух колонн процесса дистилляции трихлорсилана высокой чистоты , сопряженного при перепаде давления, и трех колонн процесса дистилляции трихлорсилана высокой чистоты , сопряженного перепада давления. Результаты показывают, что первичный выход составляет 92,0%, а теоретическая экономия энергии составляет 50,1%. Первичный выход трихлорсилана , связанного с тремя колоннами , составляет 92,0%, а теоретическая экономия энергии составляет 66,7%. Технология была успешно внедрена в промышленность, что может снизить фактическое энергопотребление дистилляционной установки в среднем на 40% ~ 60% и значительно сократить инвестиции в оборудование.