English
한국어
日本語
Melayu
Português
Italiano
Francés
العربية
Español
Процесс восстановления трихлорсилана
Метод контроля процесса восстановления трихлорсилана Этот метод включает предварительную стадию контроля реакции, стадию контроля стабильной реакции и стадию окончательного контроля реакции. На стадии предварительного управления реакцией поток SiHCl3 контролируют на уровне ниже 260 кубических метров в час, поток Н2 регулируют на уровне ниже 520 кубических метров в час, а ток регулируют в пределах 30-1000 ампер. На стадии управления стабильной реакцией поток SiHCl3 регулируется в пределах 175-260 кубических метров в час, поток H2 контролируется в пределах 385-520 кубических метров в час, а ток регулируется в пределах 1000-2000 ампер. На последней стадии контроля реакции расход SiHCl3 регулируется в пределах 130-250 кубических метров в час. Поток H2 регулируется в пределах от 360 до 520 м3/ч, а ток регулируется в пределах от 100 до 800 ампер. Изобретение повышает выход трихлорсилана и снижает энергоемкость, снижая себестоимость продукции предприятий.
Принцип заключается в восстановлении трихлорсилана высокой чистоты водородом высокой чистоты на кремниевом ядре высокой чистоты при температуре около 1100 ℃ для получения поликристаллического кремния, осажденного на кремниевом ядре. На основе традиционного процесса Сименса усовершенствованный процесс Сименса оснащен поддерживающим процессом энергосбережения, сокращения потребления, рециркуляции и утилизации большого количества H2, HCl, SiCl4 и других побочных продуктов, а также большого количества побочных продуктов. - производство тепловой энергии. В поликремнии в производственный процесс использование химического водорода, восстанавливающего кремний H2, в кремниевом стержне, генерируемом на этапах производства поликремния, является наиболее важным этапом, процесс производства поликремния с высокой и низкой ключевой скоростью также заключается в контроле этапов процесса, таким образом, чтобы повышение скорости производства поликремния является ключевой точкой управления этапами процесса, и этап процесса находится в условиях высокотемпературного реакционного процесса, высокого потребления энергии. Чтобы снизить потребление энергии, также необходимо разумно контролировать этап процесса.
