Массовая доля трихлорсилана
Несмотря на то, что массовая доля основного продукта трихлорсилана способна удовлетворить требования обычных клиентов 99,00% 99,99%, но из-за применения этого продукта в основном сконцентрирована в производстве поликремния, клиент моей компании производит примеси, внешний вид, а также к микроэлементам предъявляют повышенные требования, такие как, внешний вид - бесцветная прозрачная или светло-желтая жидкость, отсутствие явных механических примесей, Массовая доля дихлордигидрокремния, бора, фосфора, алюминия и железа меньше или равна заданным требованиям. Поскольку требования к поликремнию и последующим продуктам продолжают расти, требования к примесям и микроэлементам в трихлорсилановых продуктах будут становиться все более и более строгими.
Процесс производства трихлорсилана в основном осуществляется путем реакции порошка металлического кремния золотого качества и газообразного хлористого водорода в реакторе с псевдоожиженным слоем. Обычно с использованием порошка металлического кремния золотого качества, газообразного хлористого водорода в результате реакции сгорания газообразного хлора и водорода. Температура реакции составляет 300-400 градусов, большая часть давления с использованием операции микро положительного давления. Состав продукта псевдоожиженного слоя в основном состоит из трихлорсилана (85–92%), тетрахлорида кремния (8–15%) и небольшого количества легких компонентов, таких как дихлордигидрокремний и полисилоксан, а также других фракций рекомбинации. Согласно проекту нашей компании качество трихлорсилана, полученного после перегонки, составляет 99,00%-99,99%, а качество тетрахлорида кремния побочного продукта составляет 99,00%-99,90%.