Электронный трихлорсилан sihc13 представляет собой бесцветную, легковоспламеняющуюся, коррозионную жидкость и имеет удушающий запах. Быстро гидролизуют во влажном воздухе с образованием хлористого водорода: температура кипения 31,9 ':. Температура плавления 126,5 c:. Сопротивление плотности