Электронный трихлорсилан

Электронный трихлорсилан sihc13 представляет собой бесцветную, легковоспламеняющуюся, коррозионную жидкость и имеет удушающий запах. Быстро гидролизуют во влажном воздухе с образованием хлористого водорода: температура кипения 31,9 ':. Температура плавления 126,5 c:. Сопротивление плотности жидкости 134укги: в воздухе "}" предел воспламеняемости составляет В.9% - 7У}'у. Температура вспышки - 28. U}. Ti}v согласно HCl) 5x 1U".

Спецификация

Способ приготовления

Способ приготовления заключается в том, чтобы взять в качестве сырья дихлорид кремния промышленного класса и очистить его ректификацией. Дихлорид кремния используется в качестве источника кремния для химического осаждения из паров при производстве полупроводниковых чипов и других компонентов: