Методы синтеза трихлорсилана

В настоящее время существует два основных метода синтеза трихлорсилана : один из них является традиционным методом синтеза, то есть методом хлорида кремния. Другой - гидролиз тетрахлорида.

В настоящее время основным методом производства поликремния является модифицированный метод Сименса с использованием трихлорсилана .