Процесс дистилляции тетрахлорида кремния

Дистилляция - это использование SiCl4 и разницы между относительной летучестью компонентов примесей через несколько процессов частичной газификации и частичной конденсации для разделения смешанной жидкости, чтобы получить продукты тетрахлорида кремния высокой чистоты. Метод имеет преимущества простой работы, высокой степени автоматизации, непрерывного формирования и большого выхода, но трудно удалить примеси с относительной летучестью SiCl4 и BCl3, AlCl3, FeCl3, PCl3 и другие полярные примеси.||| | Обычно используемая дистилляционная колонна имеет колонну с ситчатыми пластинами и колонну с насадкой, а оборудование колонны, изготовленное из нержавеющей стали высокой чистоты или кварцевого стекла, предпочтительнее, чтобы избежать загрязнения тетрахлоридом кремния при очистке и улучшить эффект очистки. 

Г-н Хэ предложил метод непрерывной перегонки тетрахлорида кремния высокой чистоты для оптического волокна. Метод через грубый SiCl4, сначала в башню компонента обеззараживания для обеззараживания, а затем полученный бак бака башни из материала в башню обеззараживания для обеззараживания и, наконец, в боковой линии, чтобы получить SiCl4 высокой чистоты для оптического волокна. Этот метод может перерабатывать SiCl4 в производстве поликремния и обеспечивать непрерывное и стабильное производство, поэтому он подходит для крупномасштабного промышленного производства.