English
한국어
日本語
Melayu
Português
Italiano
Francés
العربية
Español
Гидрогенизация тетрахлорида кремния в трихлорсилан
Развитие фотоэлектрической промышленности в значительной степени способствовало развитию поликремниевой промышленности, а производство поликремния дает большое количество побочных продуктов тетрахлорида кремния. В целях устойчивого развития поликремниевой промышленности необходимо решить проблемы комплексного использования тетрахлорида кремния, гидрогенизация кремния и тетрахлорида кремния в химический водород является наиболее эффективным способом обращения с тетрахлоридом кремния, этот метод может не только избавиться от тетрахлорида кремния. , в то же время производить производство поликремния из химического водорода из кремниевого сырья, значительно снизить себестоимость производства.
Высокотемпературное гидрирование тетрахлорида кремния является важным методом обработки тетрахлорида кремния как побочного продукта поликремния. Высокотемпературное гидрирование - это тетрахлорид кремния и водород в качестве сырья, нагретые графитовым нагревателем 1200 ~ 1250 ℃, реакция термического восстановления с получением трихлорсилана .
Преимущества процесса заключаются в том, что вся система имеет замкнутую циркуляцию, пригодную для непрерывной и стабильной работы; Трихлорсилан продукты высокой чистоты, потребность в перегонных звеньях меньше. Недостатком является то, что реакцию необходимо проводить при температуре 900–1400 ℃ или даже выше и высоком давлении 1–35 МПа, а также большое потребление энергии; Поскольку нагревательное устройство реактора представляет собой изостатическую графитовую ленту, метан и другие газы легко образуются в условиях высоких температур и давлений, что приведет к загрязнению поликремния углеродом в производстве с замкнутым циклом.
