Трихлорсилан с высоким содержанием углерода

Высушенный кремниевый порошок реагирует с высушенным газообразным хлористым водородом при 340°C в печи хлорирования с псевдоожиженным слоем, а образующийся сырой трихлорсилан отделяется на тетрахлорид кремния с помощью влажного пылеуловителя и трубного пучка конденсатора дистилляционной башни, а затем конденсируется для получения готового продукта. Продукт также может быть получен реакцией ферросилиция и HCl.